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行業(yè)新聞

你知道氣浮運動臺的優(yōu)勢嗎?

2021-08-24

      隨著半導(dǎo)體進入到快速發(fā)展的階段,相應(yīng)的加工檢測設(shè)備也會逐漸的提高性能,所以有許多的公司都會用到氣浮運動臺,這是一款高精度的設(shè)備,主要作用于半導(dǎo)體加工、檢測,微納加工,測試測量等,大家知道它到底有哪些優(yōu)勢嗎?現(xiàn)在跟著上海書敏工業(yè)設(shè)備有限公司一起來了解一下吧。
      1. 直線度和平面度高
      2. 定位精度和重復(fù)定位高
      3. 速度穩(wěn)定性高
      4. 偏擺、俯仰、滾動精度高
      氣浮運動臺的高直線度和平面度依賴于氣浮導(dǎo)軌,材質(zhì)分為鋁合金、大理石及碳化硅陶瓷等,研究其高壓氣膜的壓力分布、氣源壓力、節(jié)流器、均壓槽深度等,找到了氣膜剛度時的參數(shù)區(qū)間有著出色的性能精度,實現(xiàn)相對大速度2米/秒,能夠擁有4G的加速度,而且承載的能力也非常的出色,所以在目前的市場上已經(jīng)逐漸得到大家的認可,只是當我們在選擇設(shè)備時,或許也會存在很多的疑惑,比如說要選擇哪種材質(zhì)的氣浮導(dǎo)軌。
      其實材質(zhì)的選擇是跟用戶的應(yīng)用有著緊密的聯(lián)系,單從性價比角度了解,碳化硅陶瓷材質(zhì)的氣浮運動臺精度高,當然成本也昂貴,鋁合金與大理石材質(zhì)的同樣性能比較,鋁合金的加工難度大些,成本較高,大理石的成本較便宜些。
      利用先進的直線電機驅(qū)動,選擇無鐵芯設(shè)計,特點是無齒槽效應(yīng),高動態(tài)性能及電流噪音小等,所以在運動的過程中能夠?qū)崿F(xiàn)超平穩(wěn)的效果,另外配置光柵尺閉環(huán)反饋及先進性的控制系統(tǒng),獲得高定位精度和重復(fù)定位精度,控制器對光柵尺65536倍細分,獲得納米級微動步距。
      所以從各個方向的優(yōu)勢來看,氣浮運動臺已經(jīng)成為當前從事高精密應(yīng)用行業(yè)的選擇,能夠提高整個系統(tǒng)的精度性能。
      以上是上海書敏工業(yè)設(shè)備有限公司為大家整理的氣浮運動臺的優(yōu)勢,相信大家看完本文后對氣浮運動臺也有了一定的了解了吧,如需了解更多資訊,歡迎來電資訊。

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